|
|
Introduction
ใช้เทคนิคการโฟกัสลำอิเล็กตรอนลงบนชิ้นงานที่หนาน้อยกว่า 2000 อังสตรอม ซึ่งอิเล็กตรอนสามารถทะลุผ่านชิ้นงานได้ ความหนาแน่นของอิเล็กตรอนที่ทะลุผ่านบริเวณต่าง ๆ ของชิ้นงานจะแตกต่างกัน เมื่ออิเล็กตรอนตกกระทบบนจอเรืองแสง จึงทำให้เกิดภาพฉายที่สามารถใช้ศึกษาสัณฐานวิทยาหรือความบกพร่องของโครงสร้างอะตอมของชิ้นงานได้ และสามารถวิเคราะห์โครงสร้างผลึกจากแบบรูปการเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอน
|
